Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪

产品简介：

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪：实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

产品型号：

更新时间：2024-11-20

厂商性质：代理商

访问量：783

服务热线

4006981718

立即咨询

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

暖通环保

风速风向仪风机性能测试装置风洞装置环境监测仪器便携式气质联用仪测距仪定位仪功率计风速仪照度计探头传感器变送器相序表防潮箱示波器超声波探伤仪激光对中仪射线仪器转速仪数显仪照度仪望远镜电导率计检测仪记录仪计数器绝缘电阻测试仪控制器报警仪发生器动态校准仪分析仪在线监测系统多参数水质分析探头水质自动监测系统水质在线自动分析仪转换器粉尘仪采样探头湿度仪监测仪挥发性有机物在线分析仪氨逃逸在线监测系统烟气排放连续监测系统烟气分析仪红外热像仪可燃气体检测仪不透光度计汽车尾气分析仪标准测量天线电磁波测试计微波漏能仪场强仪风量罩

产品介绍

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪产品特点：

实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。
实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。
在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。
动态补偿表面翘曲。
可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。
可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。
能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪系统优势的四个检测通道：

偏光（污渍、薄膜不均匀性）
坡度（划痕、表面形貌）
反射率（内应力、条纹）
暗?。帕?、夹杂物）

AT2应用：

1.透明基底上的缺陷

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪

2.单层污渍或薄膜不均匀性

3.化合物半导体的晶体缺陷

在化合物半导体基底和外延生长层上检测和分类多种类型的晶体缺陷

AT2的多用途：

缺陷类型
薄厚基板
透明和不透明基板
电介质涂层
金属涂层
键合硅片
开发和在线生产

AT2 软件使用来自多个探测器任意组合的数据生成缺陷图和报告：

地图和位置
缺陷数量
彩色编码缺陷
缺陷尺寸

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪

上一个：F3-sX薄膜厚度测量仪

返回列表

下一个：Smart SE智能型多功能椭偏仪

在线留言

ONLINE MESSAGE

留言框

产品：
您的单位：
您的姓名：
联系电话：
常用邮箱：
省份：
详细地址：
补充说明：
验证码：

请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

名媛汇app约会要先交定金吗免费月抛直接加微信 ,同城免费,附近卖身门店地址电话号 ,附近上门卖身电话24小时

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪：实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪产品特点：

实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。

实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。

动态补偿表面翘曲。

可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。

可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。

能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪系统优势的四个检测通道：

AT2应用：

AT2的多用途：

AT2 软件使用来自多个探测器任意组合的数据生成缺陷图和报告：

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

Lumina AT2 薄膜缺陷检测仪：实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。

实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。

在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。

可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。

可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。